问题解答
高温炉五大操作规程
发布日期：2018-12-17 浏览次数：
一、预备工作
1.查看电源线触摸是不是良好
2.查看连接线是不是正常
3.查看冷却水是不是正常
4.查看密封性是不是正常
5.预备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、工作手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
二、开炉
1，翻开主电源开关
2，向炉体充氩气至大气压，翻开炉体前门，取下石墨盖板
3，将输送车开关打至 OUT，顺次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮，取出 。石墨坩埚，顺次放置于石墨推车上输送车开关.
4，清炉 整理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
三、装料
1.将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆断定其方位，顺次装入硅料。
2.拔出限位杆，输送车开关打至 IN，顺次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并断定输送车会到初始方位。
3.装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门
四、 抽气
1，查看炉门是不是关紧，真空体系是不是密封
2，置 DP 按钮于 DP ON，翻开干式真空泵，翻开真空计开关 P1G1，翻开干式真空泵 。阀门，开端抽气测验走漏率，
3，当压力表指示为 50Pa是封闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min，翻开氩气阀门充氩气(20L/min)。
4，加热 先翻开水环泵 再按 RUN，开端技术加热。
五、冷却
1.加热完毕后，按技术条件进行冷却；
2.炉内温度下降至 200℃以下，压力达到一个大气压后才可翻开炉门，继续冷却。
3.完全冷却至室温后，将输送车开关打至 OUT，顺次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按钮，取出石墨坩埚，取出硅料，并进行分装。
4.打扫炉体后封闭炉门，将炉体抽成负压。
5.整理并妥善放置其它附属物件。
以上就是我们总结的高温炉的操作规程，但是除了按照操作规程来操作以外，还要注意高温炉的日常保养，这样才能保证炉子经久耐用。
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