真空热压烧结炉依使用温度的不同可分为以下几类。由于使用温度的不同,加热室中所采用的加热方式及保温方式千差万别。温度在800℃以下的炉子,加热器常采用铁铬铝、镍铬丝等作为加热元件,保温材料常采用高温硅酸铝保温毡。温度在1000℃-1600℃常采用金属钼、硅钼棒、硅碳棒等作为加热元件,保温材料常用复合碳毡、莫来石毡等。温度在1600℃--2200℃常用石墨管作为加热元件,或采用感应加热方式,保温材料常用石墨毡等。
真空热压烧结炉的炉壳由炉体和炉门构成,为双层冷却水套式结构。设备炉壳是按蕞大承受压力范围为-0.1~0.05MPa设计。 炉壳为卧式,侧开平移门,炉壳上有真空系统接口,测温接口,水冷电极接口、充放气接口及视孔接口等,均按高真空静密封标准设计;炉体上的上下压头装臵(上下各一套)、热电偶装臵及挡板机构均为高真空动密封结构,炉门和炉壳均采用焊接结构。对于尺寸较小的热压炉,炉门与炉体采用铰链连接方式,由于石墨压头、炉料及石墨炉具相对较轻,常采取侧开炉门与加热室内的保温侧开门联为一体,便于加热元件、压头、模具等的安装及进、出料。对于尺寸较大的热压炉,由于石墨压头、料及石墨模具较重,则设计成可移动式水冷电缆,将炉门与加热室联成一体,通过内、外巧妙设计的轨道,可将加热室移出炉外特定位臵,实现外加料及外出模并便于加热室的维护(如更换加热器)等。
真空热压烧结炉的系统通常由扩散泵与机械泵组成高真空扩散泵机组。阀门为专用真空挡板阀,扩散泵上设有冷阱,以防止扩散泵返油。配有罗茨真空泵的系统,具有粗抽旁通管路,用以提高抽气速率,真空度测量采用复合式数显真空计。前级机械泵具有停泵自动放气功能。
根据真空热压烧结炉各部分对冷却水的要求,制作集水排、由阀门、管路等组成;对炉体、炉盖、真空系统及水冷电极进行冷却。其中总进水管路安装水压传感器。
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